中科科仪 扫描电子显微镜KYKY-EM6200系列
优势特点：
Ø 经济实用
Ø 纯中文操作界面，具有一键成像功能
Ø 自动调整功能：电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等
Ø 自动校正、自动故障检测
Ø 低维护、维修成本
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项目 |
EM6200 |
EM6200Z |
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分辨率 |
SE:4.5nm (30KV)；BSE:6.0nm (30KV) |
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放大倍数 |
底片放大：15X ~ 250,000X 屏幕放大：30X ~ 500000X |
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电子枪类型 |
翻开式发叉结构钨灯阴极 |
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加速电压 |
0 ~ 30KV |
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透镜系统 |
三级电磁透镜（锥形物镜） |
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物镜光阑 |
三个光阑可在真空外选择调节 |
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样品台 |
手动 |
X/Y轴自动 |
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行程 |
X |
0 ~ 50mm |
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Y |
0 ~ 50mm |
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Z |
0 ~ 25mm |
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R |
360° |
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T |
-5° ~ 90° |
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探测器 |
二次电子探测器，背散射电子探测器（可选），X-ray能谱仪（可选） |
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真空系统 |
分子泵 |
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