中科科仪 Pro场发射扫描电镜 低压新指标KYKY-EM8100F
优势特点：Ø Schottky肖特基场发射电子枪亮度高、单色性好、电子束斑小，寿命长。
Ø 采用电子束加速镜筒，低压分辨率高。
Ø 束流稳定度高、色散小，适宜于长时间的各种精确分析，如BSE、EDS、EBSD。
Ø 低加速电压不导电样品可以直接观测，无需喷金。
Ø 操作简便，仅用鼠标即可完成所有的电镜操作。
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项目 |
KYKY-EM8100F性能参数 |
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分辨率 |
SE:1 nm(30KV); 3nm(1KV)；BSE:2.5nm(30KV) |
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放大倍数 |
15x~800,000x |
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电子枪类型 |
肖特基场发射电子枪 |
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加速电压 |
0 ~ 30Kv |
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自动调整功能 |
聚焦、亮度/对比度、消像散、电子束对中等 |
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真空系统 |
2个离子泵，1个涡轮分子泵，1个机械泵 |
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探测器 |
高真空二次电子探测器（具备保护探测器探头不被碰撞的功能） |
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样品台 |
五轴样品台（X/Y自动） |
五轴自动台（大样品台） |
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5轴全自动样品台 |
X |
0 ~ 80mm |
0 ~ 150mm |
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Y |
0 ~ 60mm |
0 ~ 150mm |
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Z |
0 ~ 50mm |
0 ~ 60mm |
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R |
360° |
360° |
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T |
-5° ~ 90° |
-5° ~ 75° |
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选配探测器 |
背散射电子探测器，X-ray能谱仪（可选） |
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