贝克曼 远程空气颗粒计数器MET ONE R4800/R4900
上海金畔提供贝克曼库尔特MET ONE R4800/R4900远程空气颗粒计数器
技术参数:
最小粒径 R4803 / R4903 – 0.3um R4805 / R4815/ R4905 / R4915 – 0.5um
流速 R4803 / R4805 / R4903 / R4905 – 0.1 CFM (2.83 LPM) R4815 / R4915 – 1.0 CFM (28.3 LPM)
流量控制 扼流喷嘴;要求 18” 汞柱真空,最低 450 mbar
通道粒径(μm) R4803 / R4903 –通道 1 / 通道2 – 0.3 / 0.5 R4805 / R4815 / R4905 / R4915 – 通道 1 / 通道2 – 0.5 / 5.0
光源 激光二极管(10年MTTF)
符合损失 在2,000,000颗/立方英尺浓度时低于5%的损失
入口压力 0.1'' Hg 真空
指示灯 计数器接通电源时LED电源灯会亮;当传感器校正需要检查时校正/报警的LED灯会亮 当计数值超出报警值时校正/报警灯会闪烁
电源 开集电极 FET 最大反向电流 (on) 150 mA;最大 VC 电压 (off) 30 VDC
连接器 DB-15 (female)
重量 0.3 公斤(10.7盎司)
管路连接 入口,0.1 CFM,1/8”内径 入口,1.0 CFM,1/4”内径 出口,全部(真空),1/4”内径
储存环境 运行温度:12 ~ 41°C (55 ~ 104°F) 相对湿度:20 ~ 95%,无冷凝 存储温度:-40 ~ 70°C (-40 ~ 122°F) 相对湿度:0 ~ 98%,无冷凝
订货时,请指定 0.3 µm (R4803/R4903) 或 0.5 µm (R4805/R4815/R4905/R4915) 和 0.1 cfm (R4803/R4805/R4903/R4905) 或 1.0 cfm (R4815/R4915)
产品功能及介绍:
易于同任意FMS系统集成
MET ONE R4800 系列远程空气颗粒计数器采用标准的 RS -485 串行通信,MET ONE R4900 系列远程空气颗粒计数器则使用工业标准 4-20mA 接口。
灵活方便,可用于所有的远程空气颗粒计数器应用
灵敏度范围从 0.3 um 到 0.5 um,流速范围从 0.1cfm 到 1.0cfm。计数器上的 LED 状态指示灯可闪烁并可在连接器处设置信号用于报警。驻留有 RS-485 组态编程(计数时间,保持时间,告警级别,告警延迟和缩放),通过电源周期保持(电源的开和关)。
简便安装选项
小型不锈钢外壳适应于大多数制程环境。因为不带有会破坏气流的风扇,使 MET ONE R4800/R4900 系列空气颗粒计数器可放置在最接近敏感的制程区域。