雅马拓(Yamato) 超纯水用比抵抗制御装置CO₂脱泡机N4R-N4C-3.0-120
雅马拓N4R-N4C-3.0-120超纯水用比抵抗制御装置CO₂脱泡机主要特点:
超越新世纪的节约环保设计理念,采用当前最先 进的比阻抗控制技术,来抑制超纯水中静电的发生。
在半导体制造和FPD制造、晶元(芯片)切割工序中被用来对超纯水进行比阻抗的最优化控制,防止静电破坏和微粒子的附着。
创造划时代技术指标的最优秀产品。
可根据用途选择相应机型
装机容易
全机型阻抗探头内置,配管容易。
大水量,压力损失小
水量3000L/h时,压力损失0.06MPa
操作简单,控制精度高
开机后只需输入所要阻抗值,即可马上进行±0.03MΩ/cm精确控制。
可在高水压环境下运行
最高使用压力在0.5MPa,可以自由进行机种配置。
水量变动应答速度快
使用水量发生很大变化时也能迅速做出调整控制。
经济环保
不需要CO₂溶解膜等旧式机种必不可少的高价的消耗品,CO₂排气和排水也不要。
双氧水杀菌对应
可用3%双氧水进行杀菌处理,细菌繁殖也不用担心。
雅马拓N4R-N4C-3.0-120超纯水用比抵抗制御装置CO₂脱泡机技术指标:
机型 |
Rack type |
N4R-3.0-120 |
Cabinet type |
N4C-3.0-120 |
|
处理量 |
300–3000L/h |
|
控制范围 |
0.15–1.9MΩ/cm |
|
精度 |
集电阻率±0.03MΩ/cm |
|
最大水压 |
0.5MPa |
|
CO2压力 |
0.7MPa |
|
压力损失 |
0.06MPa at 3000L/h |
|
接口尺寸 |
3/4" 内螺纹 |
|
重量 |
Rack type |
28Kg |
Cabinet type |
67Kg |
|
外形尺寸 |
Rack type |
480W*430L*250H(mm) |
Cabinet type |
430W*430L*1350H(mm) |
|
电源 |
AC100–130V,AC220–240V,50/60Hz,single phase 1A |
深。